ASCO角座閥E290A791

技術(shù)參數(shù)

中心測量距離 45mm

檢測物體     3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓

(注):檢測8英寸以下的晶圓時(shí)，可能會(huì)因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)等而影響檢測。

耐環(huán)境性:保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC)

耐環(huán)境性:環(huán)境溫度 0℃-＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10℃-＋70℃

耐環(huán)境性:環(huán)境濕度 35%-85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35%-85%RH

耐環(huán)境性:環(huán)境照度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

耐環(huán)境性:耐電壓    AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

耐環(huán)境性:緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐環(huán)境性:耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)

耐環(huán)境性:耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面

(注):對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會(huì)因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。

檢測角度 12.5±5°

(注):晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，定位邊的   大跳動(dòng)角度約為±20°。

晶圓間距    間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測

(注):斜向插入8英寸晶圓時(shí)的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時(shí)，對于避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號(hào)無法分解，變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號(hào)。

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)

定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器　有效/無效切換式

投光停止輸入 信號(hào)條件

?投光停止：斷開或4?8V

?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入 信號(hào)條件

?輸入OFF：斷開或4?8V

?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定方法 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行

檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4級(jí)或外部輸入的2級(jí)選擇式

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

輸出:輸出動(dòng)作 可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON

輸出:短路保護(hù) 裝備(自動(dòng)復(fù)位)

反應(yīng)時(shí)間 500μs以下

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

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